國內(nèi)壓力傳感器市場形勢
我國壓力傳感器市場主要是工業(yè)自動化控制領(lǐng)域，和汽車領(lǐng)域。在工控領(lǐng)域里目前我國絕大部份采用擴(kuò)散硅壓力傳感器、應(yīng)變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器，而國內(nèi)廠家生產(chǎn)面廣量大的就是擴(kuò)散硅壓力傳感器。在國內(nèi)，西安市是我國笫二個五年計劃里重點(diǎn)發(fā)展壓力系列傳感器的重要城市，陜西寶雞市在省會城市西安的帶動下，由原秦嶺晶體管廠進(jìn)行技術(shù)改造，和美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司，為我國擴(kuò)散硅壓力傳感器生產(chǎn)開創(chuàng)了先河。但MEMS技術(shù)和前道硅片制造技術(shù)仍控制在外國廠家手里。 進(jìn)入九十年代,國際上MEMS技術(shù)有了長足的發(fā)展，硅片定向微機(jī)電加工精度和成品率不斷提高，加上離子注入技術(shù)的發(fā)展使擴(kuò)散硅壓力傳感器從技術(shù)上有了可靠保證，成本也有所下降。在許多應(yīng)用領(lǐng)域里，擴(kuò)散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進(jìn)了國內(nèi)壓力傳感器市場的興盛。
在國外，壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性，抗腐蝕、優(yōu)良的線性精度和低成本開始逐漸替代擴(kuò)散硅壓力傳感器，這也將是必然的發(fā)展趨勢。國家科技部馬頌德副部長在2005年底視察無錫時，對此作了充分肯定。
瑞士Metallux公司,此外德國WIKA公司和韓國Greensensor公司也生產(chǎn)陶瓷壓力傳感器,他們都看好中國市場。在具體的傳感器設(shè)計理念雙方的立場有不同的地方，這是正常現(xiàn)象，因?yàn)槔碚撌冀K有待于實(shí)踐提升。
