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壓力傳感器參數(shù)指標(biāo)中過載保護(hù)

壓力傳感器參數(shù)指標(biāo)中過載保護(hù)
壓力傳感器有很多參數(shù)指標(biāo),其中有一項(xiàng)是過載保護(hù),過載就是負(fù)荷過大,超過了設(shè)備本身的額定負(fù)載,產(chǎn)生的現(xiàn)象是電流過大,用電設(shè)備發(fā)熱,線路長期過載會(huì)降低線路絕緣水平,甚至燒毀傳感器設(shè)備或線路;過載保護(hù)就是即使負(fù)荷超過了額定負(fù)載也不會(huì)出現(xiàn)燒壞線路的情況,但是也有一個(gè)度,一般是150%的范圍內(nèi),而且不能持續(xù)過載工作。

  壓力傳感器有很多形式,每種結(jié)構(gòu)形式的過載保護(hù)設(shè)計(jì)方法也是各不相同的,眾多方法都有各自的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn),采用MEMS 技術(shù)的小量程、高靈敏壓力傳感器通常有平膜、島膜、梁膜等結(jié)構(gòu),在設(shè)計(jì)過載保護(hù)時(shí),一般采用凸臺(tái)等方法實(shí)現(xiàn),形成方法有背部刻蝕技術(shù)、硅直接鍵合技術(shù)、玻璃刻蝕技術(shù)等。然而這些結(jié)構(gòu)一般都有一個(gè)很大的局限性就是腔體尺寸較大,進(jìn)一步提高靈敏度受到限制,而且降低了硅片利用率,增加了制造工藝的復(fù)雜度,提高了生產(chǎn)成本。目前小量程、高靈敏壓力傳感器的研究熱點(diǎn)集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器,這主要是因?yàn)闋奚鼘咏Y(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片很薄,厚度可做到2 μm,甚至更薄。在這樣薄的結(jié)構(gòu)上,如果采用擴(kuò)散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應(yīng)變電阻,其厚度相對(duì)較大,對(duì)彈性膜片應(yīng)力分布影響很大,不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化,因此采用多晶硅納米薄膜制作應(yīng)變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)。

  過載保護(hù)是每種傳感器都要考慮的,因?yàn)樵谑褂眠^程中可能會(huì)出現(xiàn)測(cè)量值大于量程的情況,只有設(shè)計(jì)了過載保護(hù)的傳感器才能更好的使用,也才能使用得更久。具體每種傳感器的過載保護(hù)是如何設(shè)計(jì)的,過載范圍是多少都是不同的,所以不管是買哪種傳感器一定要了解它的過載保護(hù)是多少,這樣才能更好的方便使用,在未來使用過程中也不會(huì)出現(xiàn)由于過載燒壞電路的情況。

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